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售價高達27億元,重150噸!阿斯麥最新光刻機有多恐怖?

2024-02-15 15:49:22

大家可能不知道,阿斯麥最新光刻機有多恐怖?

前段時間,荷蘭阿斯麥ASML對外展示其最新款晶片製造裝置-High-NA 極紫外 (EUV) 光刻機。

據悉,一臺售價3.5億歐元(約合27億元人民幣),重達150噸,相當於兩架空客 A320 客機的重量。

ASML公司更是對外宣稱,這是晶片製造商參與人工智慧熱潮的“必備品”。

阿斯麥最新光刻機

2023年12月,荷蘭阿斯麥ASML的第一臺2nm光刻機交付給了英特爾Intel。

這是全球首臺高數值孔徑(High-NA)的光刻機,主要技術革新在於實現了更大的數值孔徑。

所謂數值孔徑,指的是用來衡量光學系統能夠收集的光的角度範圍。

透過增大數值孔徑,可以實現更小的解析度和更高的分辨能力,從而滿足微細加工的要求。

簡單來說,數值孔徑越大則解析度越佳。

據悉,這臺光刻機採用蔡司生產的0.55 NA 的鏡頭,能夠實現8nm級別的解析度,而標準EUV 使用0.33 NA 的鏡頭,實現解析度水平為13nm。

這麼說吧,誰家要是擁有它,那麼製造2nm及以下節點晶片,是絲毫沒有任何壓力。

並且在晶片製作過程中,還可以進一步提升之前傳統光刻機多重曝光成本,其一個小時能曝光超過200片矽晶圓,生產效率變得更高。

一般來說,工藝節點超越5nm,低數值孔徑光刻機的解析度就不夠了,只能使用EUV雙重曝光或曝光成形技術來輔助。

然而,這樣不但大大增加成本,還會降低良品率。

因此,更高數值孔徑成為必需。

對此,ASML 執行長 Peter Wennink 在接受採訪時表示:“人工智慧需要大量計算能力和資料儲存。我認為如果沒有 ASML,如果沒有我們的技術,這是不可能實現的。”

正因為光刻機太厲害了,價格方面也是蹭蹭的上漲。

據悉,一臺High-NA光刻機售價高達3.5億歐元,與之對比阿斯麥傳統EUV光刻機型號,包括NXE:3600D 和NXE:3400C。

它們分別可用於3~5nm、5~7nm 製程節點的晶片生產,整體平均單價約1.7 億歐元。

所以看到了吧,這個漲幅是巨大的。

為了在2nm及以下晶片製造領域重新奪回相對臺積電的領先優勢,看得出來英特爾是下了大血本的。

值得一提的是,英特爾在2018年就跟阿斯麥預定好了,直到2023年年底,對方才開始交付。

而另一巨頭臺積電,則按兵不動。

至於原因嘛,業內分析師預計,由於最先進的光刻機成本相比之前多重曝光的光刻機高的多,因此臺積電可能要到 2030 年甚至更晚才會採用這項技術。

根據ASML公佈資料,一部EUV光刻機的精密零部件超過10萬多個,4萬個螺栓,4000多條線路,超過2公里以上的軟管線。

單次發貨需要動用40個貨櫃、20輛卡車以及3架波音飛機才能運完。

值得一提的是,這麼多零部件,涉及到來自超過40多個國家的5000多家供應商。

比如裡面用到了德國的蔡司鏡頭,日本的特殊複合材料,瑞典的精密機床,美國的先進控制軟體、光源等,個個都是業內頂尖廠商。

其中90%的零件都採用世界上最先進的技術,85%的零部件是和供應鏈共同研發。

甚至一些介面都要工程師用高精度機械進行打磨,尺寸調整次數更可能高達百萬次以上。

等光刻機的各個元件,透過飛機運輸到客戶這邊後,會有將近250名工程師們輪流對其進行組裝,整個組裝除錯時間更是超過半年。

其中,每個鏡面、透鏡和其他光學元件都需要精確校準,以確保光束能精確地聚焦在晶圓上。

按照英特爾的計劃,自家2nm晶片將在2025年才能製造出來。

然而,值得一提的是,ASML的總裁指出數值孔徑(NA)達到0.55後,進一步提升可能會遇到技術瓶頸。

後面想讓EUV光刻機繼續提升解析度,有這麼幾種辦法。

要麼不斷降低光源波長,但是目前使用的13.5奈米的極紫外光已經非常短了,找不到比這更短的了。

要麼提升光刻工藝因子,其中包括但不限於光刻膠的效能、曝光後處理技術、以及圖案轉移的精度等。

儘管透過改進這些工藝引數,可以在一定程度上提升解析度,但目前這些技術也接近了它們的物理或化學極限,提升空間有限。

剩下還有一條路,那就是提升數值孔徑(NA)。

雖然目前ASML開發的高NA EUV光刻技術,特別是0.55高NA系統,代表了光刻技術的一個重大進步。

然而,繼續提高NA會遇到巨大的技術和物理障礙,比如光學系統的複雜性、製造成本的大幅上升,以及可能達到物理極限。

正因如此,ASML的總裁才會指出0.55NA,可能是當前技術條件下的極限。

阿斯麥為啥厲害

荷蘭阿斯麥之所以能生產全球最頂級的光刻機,是有很多原因的。

其中最關鍵的因素,是阿斯麥掌握了大部分光刻機制造的上下游產業鏈,從而構建了一個由全球頂尖供應商和合作夥伴組成的生態系統。

要知道,阿斯麥的光刻機中超過90%的零件都是向外採購的,全球更是超過5000家供應商。

因此對於這些供應商,阿斯麥想方設法牢牢的掌握在自己手裡。這意味著阿斯麥在技術創新、零部件質量以及生產效率方面都能保持領先。

而對於下游客戶來說,阿斯麥有個奇特的規定,就是隻有投資阿斯麥才能獲得優先供貨權。

這不僅為阿斯麥提供了一大筆資金支援,而且透過這種方式,阿斯麥與其客戶之間形成了更緊密的合作關係和利益共同體。

這種模式,有助於阿斯麥在研發新技術時獲得客戶的直接反饋和需求,進而更好地滿足市場的需要。

所以,透過與全球頂尖供應商和合作夥伴的緊密合作,加上客戶的投資,從而使得阿斯麥能夠保持技術的領先地位。

結尾

此次阿斯麥把最先進的光刻機,首次供貨給英特爾,不僅僅是錢的問題,更深層次的還是美國想要維持在晶片領域霸主的地位。

從公開的資料來看,阿斯麥第一大股東是美國資本國際集團,而英特爾又是美國公司。

所以嘛,美國說賣誰就賣誰,不能賣誰就不能賣誰。

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