大家可能不知道，阿斯麥最新光刻機有多恐怖？
前段時間，荷蘭阿斯麥ASML對外展示其最新款晶片製造裝置-High-NA 極紫外 (EUV) 光刻機。
據悉，一臺售價3.5億歐元（約合27億元人民幣），重達150噸，相當於兩架空客 A320 客機的重量。
ASML公司更是對外宣稱，這是晶片製造商參與人工智慧熱潮的“必備品”。
阿斯麥最新光刻機
2023年12月，荷蘭阿斯麥ASML的第一臺2nm光刻機交付給了英特爾Intel。
這是全球首臺高數值孔徑（High-NA）的光刻機，主要技術革新在於實現了更大的數值孔徑。
所謂數值孔徑，指的是用來衡量光學系統能夠收集的光的角度範圍。
透過增大數值孔徑，可以實現更小的解析度和更高的分辨能力，從而滿足微細加工的要求。
簡單來說，數值孔徑越大則解析度越佳。
據悉，這臺光刻機採用蔡司生產的0.55 NA 的鏡頭，能夠實現8nm級別的解析度，而標準EUV 使用0.33 NA 的鏡頭，實現解析度水平為13nm。
這麼說吧，誰家要是擁有它，那麼製造2nm及以下節點晶片，是絲毫沒有任何壓力。
並且在晶片製作過程中，還可以進一步提升之前傳統光刻機多重曝光成本，其一個小時能曝光超過200片矽晶圓，生產效率變得更高。
一般來說，工藝節點超越5nm，低數值孔徑光刻機的解析度就不夠了，只能使用EUV雙重曝光或曝光成形技術來輔助。
然而，這樣不但大大增加成本，還會降低良品率。
因此，更高數值孔徑成為必需。
對此，ASML 執行長 Peter Wennink 在接受採訪時表示：“人工智慧需要大量計算能力和資料儲存。我認為如果沒有 ASML，如果沒有我們的技術，這是不可能實現的。”
正因為光刻機太厲害了，價格方面也是蹭蹭的上漲。
據悉，一臺High-NA光刻機售價高達3.5億歐元，與之對比阿斯麥傳統EUV光刻機型號，包括NXE:3600D 和NXE:3400C。
它們分別可用於3~5nm、5~7nm 製程節點的晶片生產，整體平均單價約1.7 億歐元。
所以看到了吧，這個漲幅是巨大的。
為了在2nm及以下晶片製造領域重新奪回相對臺積電的領先優勢，看得出來英特爾是下了大血本的。
值得一提的是，英特爾在2018年就跟阿斯麥預定好了，直到2023年年底，對方才開始交付。
而另一巨頭臺積電，則按兵不動。
至於原因嘛，業內分析師預計，由於最先進的光刻機成本相比之前多重曝光的光刻機高的多，因此臺積電可能要到 2030 年甚至更晚才會採用這項技術。
根據ASML公佈資料，一部EUV光刻機的精密零部件超過10萬多個，4萬個螺栓，4000多條線路，超過2公里以上的軟管線。
單次發貨需要動用40個貨櫃、20輛卡車以及3架波音飛機才能運完。
值得一提的是，這麼多零部件，涉及到來自超過40多個國家的5000多家供應商。
比如裡面用到了德國的蔡司鏡頭，日本的特殊複合材料，瑞典的精密機床，美國的先進控制軟體、光源等，個個都是業內頂尖廠商。
其中90%的零件都採用世界上最先進的技術，85%的零部件是和供應鏈共同研發。
甚至一些介面都要工程師用高精度機械進行打磨，尺寸調整次數更可能高達百萬次以上。
等光刻機的各個元件，透過飛機運輸到客戶這邊後，會有將近250名工程師們輪流對其進行組裝，整個組裝除錯時間更是超過半年。
其中，每個鏡面、透鏡和其他光學元件都需要精確校準，以確保光束能精確地聚焦在晶圓上。
按照英特爾的計劃，自家2nm晶片將在2025年才能製造出來。
然而，值得一提的是，ASML的總裁指出數值孔徑（NA）達到0.55後，進一步提升可能會遇到技術瓶頸。
後面想讓EUV光刻機繼續提升解析度，有這麼幾種辦法。
要麼不斷降低光源波長，但是目前使用的13.5奈米的極紫外光已經非常短了，找不到比這更短的了。
要麼提升光刻工藝因子，其中包括但不限於光刻膠的效能、曝光後處理技術、以及圖案轉移的精度等。
儘管透過改進這些工藝引數，可以在一定程度上提升解析度，但目前這些技術也接近了它們的物理或化學極限，提升空間有限。
剩下還有一條路，那就是提升數值孔徑（NA）。
雖然目前ASML開發的高NA EUV光刻技術，特別是0.55高NA系統，代表了光刻技術的一個重大進步。
然而，繼續提高NA會遇到巨大的技術和物理障礙，比如光學系統的複雜性、製造成本的大幅上升，以及可能達到物理極限。
正因如此，ASML的總裁才會指出0.55NA，可能是當前技術條件下的極限。
阿斯麥為啥厲害
荷蘭阿斯麥之所以能生產全球最頂級的光刻機，是有很多原因的。
其中最關鍵的因素，是阿斯麥掌握了大部分光刻機制造的上下游產業鏈，從而構建了一個由全球頂尖供應商和合作夥伴組成的生態系統。
要知道，阿斯麥的光刻機中超過90%的零件都是向外採購的，全球更是超過5000家供應商。
因此對於這些供應商，阿斯麥想方設法牢牢的掌握在自己手裡。這意味著阿斯麥在技術創新、零部件質量以及生產效率方面都能保持領先。
而對於下游客戶來說，阿斯麥有個奇特的規定，就是隻有投資阿斯麥才能獲得優先供貨權。
這不僅為阿斯麥提供了一大筆資金支援，而且透過這種方式，阿斯麥與其客戶之間形成了更緊密的合作關係和利益共同體。
這種模式，有助於阿斯麥在研發新技術時獲得客戶的直接反饋和需求，進而更好地滿足市場的需要。
所以，透過與全球頂尖供應商和合作夥伴的緊密合作，加上客戶的投資，從而使得阿斯麥能夠保持技術的領先地位。
結尾
此次阿斯麥把最先進的光刻機，首次供貨給英特爾，不僅僅是錢的問題，更深層次的還是美國想要維持在晶片領域霸主的地位。
從公開的資料來看，阿斯麥第一大股東是美國資本國際集團，而英特爾又是美國公司。
所以嘛，美國說賣誰就賣誰，不能賣誰就不能賣誰。
